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超純水設備確保芯片加工用水純凈度

2022-07-26

  據中國半導體協會(CSIA)統計,中國有一千六百多家本地半導體公司,全球市場份額也上升到13%。除了當地企業,越來越多的跨境企業從事半導體業務。另一項統計數據顯示,自今年以來,5萬多家主營業務與半導體無關的企業在中國注冊了半導體業務。

  芯片相當于電子工業的大腦。雖然它只有指甲那么大,但數十億納米晶體管應該放在芯片板上。在芯片生產中,超過80%的工藝需要化學處理,每種化學處理都離不開水。集成電路集成度越高,對水質的要求就越高。因此,芯片行業對生產用水的水質有非常嚴格的要求。一旦水質不合格或水中含有雜質,設備的性能和產量就會降低。因此,超純水需要用于芯片生產。

超純水設備

  萊特萊德采用雙反+EDI+拋光混合床組合工藝:反滲透系統采用反滲透膜元件,利用反滲透原理去除水中溶解的鹽、有機物、膠體和大分子。降低水質中的離子含量。EDI是一種結合離子交換膜技術和離子電遷移技術的超純水制造技術,無酸堿再生。這是一種新的脫鹽方法。EDI系統處理超純水無回收化學品,運行成本低,EDI系統自動化程度高,連續運行,水質好,穩定,出水電阻率高≥15mω·cm。超純水處理系統末端凈化器采用拋光混合床。半導體級混合床離子交換樹脂的設計和生產可將水中的離子含量降低到PPB水平,出水電阻率可達18.2MΩ.cm。確保芯片生產用水的純度就足夠了。

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