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半導體產業中的硅晶圓生產,離不開超純水設備

2023-03-28

  熟悉半導體領域的人都知道晶圓,但是對于不太關心科技的人來說那就是不曾聽聞了。晶圓,簡單來說就是半導體電路的核心組件,是一種承載物,是一種是制成半導體積體電路的原材料。

  作為半導體電路的重要組成部分,硅晶圓的生產至關重要,其清洗用水多為高質量的超純水,超純水質量也影響著硅晶圓產出的質量,那么什么樣的超純水設備才能產出高質量的超純水呢?

超純水設備

  采用預處理+反滲透+EDI+拋光混床組合形式的超純水設備方可制備出高質量的超純水。該設備具有高效低能、運行成本低,水資源利用率高、體積較小、維修量小,運行的時間長等優點。設備應用的EDI模塊水處理過程中不需要添加任何化學品,不僅減少了化學品運輸問題,同時降低了系統運行費用。本模塊不會有酸堿廢液產生,所以不需要酸堿中和池,一般情況下,EDI水處理系統產出的濃水完全可以回收再利用。

  整套設備主要是消耗電量來維持系統運行,其耗電量比傳統混床工藝低,無需樹脂更換,自動化性能強,無需人工操作。超純水設備能夠連續穩定的制備品質優良的超純水,采用的設計結構相對靠緊,所以其占地非常小,可以為企業節省很多空間,在符合硅晶圓生產用水水質標準的同時可以使水資源的利用率達到95%~99%,有效提升了水資源利用率。

  隨著科技的不斷進步,半導體行業不斷的發展,我國對于該行業的政策支持,使得硅晶圓的市場需求也在不斷增加,超純水的需求也在悄然的增加。

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  編輯:柒柒   技術:米

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